真空泵是一種用于制造、研究和分析高真空環(huán)境的設備，它起到將氣體從一個(gè)封閉空間中抽出的作用。真空泵的主要原理是通過(guò)使泵室內的氣體分子在泵殼壁上碰撞、吸附和擴散的作用下，逐漸降低泵室內的氣體壓力，達到一定的真空度。一般情況下，真空泵采用機械泵、分子泵、擴散泵等多種方式進(jìn)行真空抽取。
隨著(zhù)真空應用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數百萬(wàn)升。隨著(zhù)真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿(mǎn)足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機組型式應用。
常見(jiàn)的真空泵故障有以下幾種：
1.泵體溫度升高，散熱不良。潤滑油不足或混水。
解決方法：檢查或更換潤滑油，將散熱器清洗干凈，減少摩擦造成的熱量。
2.泵室漏氣現象。泵室密封圈損壞或泵室內部零件松脫。
解決方法：更換泵室密封圈或緊固松動(dòng)的零件，加強檢查，確保泵室內部密封良好。
3.真空度下降。進(jìn)氣口卡垢或泵室密封圈老化開(kāi)裂。
解決方法：清洗進(jìn)氣口或者更換密封圈，加強防塵措施。
4.泵機異響或運行不平穩。機械部件磨損或輸出軸不平衡。
解決方法：更換磨損的機械元件或輸出軸，精調輸出軸的平衡狀態(tài)。
